Description

CT 300 – Profilomètre sans contact

– Grande zone de numérisation de 315 mm x 315 mm
– Mesure rapide, précise et exacte sur des échantillons de petite et de grande taille
– Concept convivial
– Logiciels sophistiqués d'analyse et d'automatisation

Le CT 300 Il s'agit d'un profilomètre sans contact doté d'un système de déplacement x-y de 315 mm. Il peut traiter des plaquettes jusqu'à 12 pouces ou d'autres substrats et pièces de grande taille. Il est idéal pour mesurer la planéité avec une précision submicronique sur toute sa course de 315 mm. Grâce à un capteur à lumière blanche chromatique et une fréquence d'acquisition de données jusqu'à 4 kHz, le temps d'inspection est minimisé. Les capteurs sont disponibles avec une résolution jusqu'à 3 nm et une plage de mesure jusqu'à 25 mm. Notre technologie multi-capteurs permet le montage simultané de plusieurs têtes de capteur, y compris des interféromètres infrarouges pour la mesure de l'épaisseur des plaquettes.

Technologie

– Moteurs linéaires magnétiques rapides et précis
– Vitesse de mesure 2 kHz (4 kHz, 14 kHz en option)
– Course de 315 mm selon les axes x et y, résolution latérale de 0,05 µm, axe z motorisé en option
– Profils 2D et cartes topographiques 3D (mesure topographique)
– Grandes zones de numérisation, jusqu'à une course maximale de 315 mm avec une résolution maximale en x, y et z
– Capteurs de lumière blanche confocale laser et chromatique
– Résolution jusqu'à 3 nm, plage de mesure jusqu'à 25 mm
– Caméra axiale ou caméra hors axe haute résolution