Description

Profilomètre optique double face sans contact CT 350T / CT 250T

– Portée de numérisation : jusqu’à 300 x 300 mm
– Système de mesure double sans contact
– Cartographie 3D de l'épaisseur, de la courbure, du gauchissement et de la rugosité
– Concept convivial
– Logiciels sophistiqués d'analyse et d'automatisation

Le CT 350T Il s'agit d'un profilomètre optique double face sans contact doté d'une platine de balayage x-y de 300 mm. Le capteur supérieur est monté sur un axe z de haute précision avec une course de 100 mm, tandis que le capteur inférieur est fixe à l'intérieur de la plateforme en granit. Les deux capteurs collectent des données de hauteur synchronisées avec les signaux des codeurs x-y et sont alignés axialement afin de garantir des mesures d'épaisseur différentielle précises. Le logiciel génère simultanément des profils 2D et des cartes 3D à partir des surfaces supérieure et inférieure et calcule le profil ou la carte d'épaisseur totale correspondante.

Le système de déplacement utilise des moteurs linéaires magnétiques rapides et précis. Le temps d'inspection est minimisé grâce au déclenchement des capteurs de lumière blanche chromatique à une fréquence d'échantillonnage de 4 kHz. Ces capteurs offrent une résolution axiale de 3 nm et une plage de mesure jusqu'à 25 mm. Avec une plaque d'adaptation sur l'ouverture de la platine, le système peut être utilisé comme un profilomètre de surface optique standard. CT 350T le système de mesure de surface et d'épaisseur le plus polyvalent. Le système est également disponible dans une version plus petite sous la forme CT 250T avec un déplacement de 200 mm, idéal pour les plaquettes ou substrats de 8 pouces et les plaquettes solaires.

Technologie

– Système de double numérisation rapide et précis
– Vitesse de mesure : 4 kHz
– Course de 300 mm (200 mm) selon les axes x et y, résolution latérale de 50 nm, résolution motorisée sur l'axe z de 5 nm
– Profils 2D, cartes topographiques 3D et cartes d'épaisseur 3D
– Grande zone de numérisation
– Résolution maximale en x, y et z jusqu'à la course maximale de 300 mm (200 mm)
– Capteurs de lumière blanche chromatique
– Résolution Z jusqu'à 3 nm, plage de mesure jusqu'à 25 mm
– Caméra hors axe haute résolution